薄膜の設計・開発プロセス、膜厚測定と均一化の技術、薄膜の特性評価手法など、薄膜の設計から評価に至るまでの一連のプロセスを体系的に解説します。

薄膜講座 ２）　薄膜の設計と評価

ソメイテック 代表 技術士（金属部門） 大薗 剣吾氏

2005年、東京大学大学院マテリアル工学修士課程修了。2016年、技術士事務所ソメイテックを設立。専門は薄膜・表面プロセスで、特にスパッタ・コーティング・エッチング・リソグラフィ・微細加工・金属加工技術を得意とする。液晶ディスプレイや半導体関連の製品設計・設備導入・品質改善・コストダウン、新規工場や生産ラインの実務に従事。日本技術士会　金属部会　幹事、加飾技術研究会　理事。

＜習得知識＞
１．薄膜の設計・開発プロセス
→薄膜の設計や開発に必要な戦略と実践的なアプローチを学びます。
２．膜厚測定と均一化の技術
→膜厚測定の手法や膜厚の均一化に関する知識を得ます。
３．薄膜の特性評価手法
→光学特性、電気特性、硬度、結晶構造などの評価方法について深く理解します。


＜プログラム＞
１．薄膜の設計・開発の進め方
２．薄膜の膜厚測定、膜厚の均一化
３．薄膜の光学特性の測定、高度化および安定化
４．薄膜の電気特性の測定、高度化および安定化
５．薄膜プロセスのモニタリング手法
６．薄膜の組織観察、成分分析法
７．膜硬度、表面物性、応力、結晶構造の評価
８．外観不良・微小欠陥の検査と改善法
９．密着性・信頼性の評価と改善法