薄膜の基本概念と機能、主要な薄膜形成技術の原理、薄膜の前処理と後工程の重要性など、薄膜技術の基礎を解説します。

薄膜講座 １）　薄膜技術の基礎

ソメイテック 代表 技術士（金属部門） 大薗 剣吾氏

2005年、東京大学大学院マテリアル工学修士課程修了。2016年、技術士事務所ソメイテックを設立。専門は薄膜・表面プロセスで、特にスパッタ・コーティング・エッチング・リソグラフィ・微細加工・金属加工技術を得意とする。液晶ディスプレイや半導体関連の製品設計・設備導入・品質改善・コストダウン、新規工場や生産ラインの実務に従事。技術者教育としては、上述の専門技術の他、問題解決、ロジカルシンキング、コミュニケーション、リーダーシップ、統計的品質管理等の研修講師を務めている。日本技術士会　金属部会　幹事、加飾技術研究会　理事。

＜習得知識＞
１．薄膜の基本概念と機能
→薄膜技術の定義やその機能についての理解を深めます。
２．主要な薄膜形成技術の原理
→真空蒸着法、スパッタリング法、CVD法など、各技術の原理と特性を学びます。
３．薄膜の前処理と後工程の重要性
→薄膜の品質向上に寄与する前処理や後工程の管理方法についての詳しい知識を得ます。


＜プログラム＞
１．薄膜とは何か ～定義、機能～
２．薄膜の成長過程
３．真空・プラズマ技術の基本
４．真空蒸着法の原理
５．スパッタリング法の原理
６．CVD（化学的気相成長）法の原理
７．液相系薄膜形成法の原理
８．新しい薄膜形成技術の原理
９．薄膜の前処理と後工程